早上七点，李一凡就来到了中微公司。今天是28nm光刻机工程样机关键核心部件的专家评审会，这不仅到了中微能否在年内完成整机合作，更关系到大夏半导体产业的突破。
刚走进大楼，助理陈晓峰就匆匆赶来：“李书记，有份紧急密件。”
李一凡接过文件，是来自国家安全部门的情报：美国商务部正在制定新的技术管制清单，针对中国半导体产业的打压力程度将进一步加大。同时，他们在游说台积电、三星等企业，要求停止采购大夏企业的半导体设备。
“看来暴风雨要来了。”李一凡眯起眼睛。他突然想到这一天，14海里刻蚀机的突破必然会引起美国的强烈反应。
走进会议室、中微董事长尹志绕和威廉姆斯博士已经在等候。专家评审组的成员也陆续到齐，包括两位中科院院士、三位行业资深专家。
“尹总，先汇报一下目前的进展。”李一凡坐下后说道。
尹志绕点开投影仪：“首先是最令人振奋的消息，我们的光学系统创新设计获得了重大突破。威廉姆斯博士，您来详细介绍一下。”
威廉姆斯走到投影屏前：“我们采用了全新的光路设计方案，配备了自主研发的控制算法，在分辨率和稳定性上都取得了突破。特别是在与南大光电的新型光刻胶配合后，测试结果显示分辨率提升了15%以上。”
“这个数据非常惊人。”一位院士评价道，“如果能保持稳定性，完全可以满足28nm制程的要求。”
“稳定性方面，我们进行了上万次测试。”威廉姆斯调出测试数据，“耳环控制在3纳米以内，完全达到了工业标准。”
李一凡注意到专家们交头接耳，显然对这个结果非常满意。但他更关心的是另一个问题：“量产时间线能确定了吗？”
“按照目前的图纸，明年6月份就可以完成整机完成和调试。”尹志绕说，“不过还有两个问题需要解决。”
“说说看。”
“首先是核心零部件的供应链问题。”尹志绕指的是一张复杂的供应链图，“目前除了光刻胶已经实现很多自主可控，其他关键部件还依赖进口。如果美国真的把我们列入实体清单，供应链可能会出现断裂。”
“第二个问题是专利布局。”威廉姆斯补充道，“我们的创新设计已经申请了专利，但在某些领域可能会与ASmL的专利出现重叠。这需要法团队仔细评估风险。”
正说着，市科技局局长刘青松快步走进来，在李一凡耳边低语几句。李一凡的表情瞬间凝重。
“刚消息，台积电那边出现了新的变化。”李一凡环视会议室，“美国施压停止他们采购我们的刻蚀机。”
会议室内一片寂静。这在意料之中，但真正来临时还是让人感到巨大的压力。台积电作为全球最大的晶圆代工厂，尽管是中微最重要的客户之一。
“不止台积电。”刘青松继续汇报，“三星这边也收到了类似的压力。美国正在通过各种渠道，要求韩国政府限制本国企业与中国半导体企业的合作。”
尹志绕有些担心：“如果主要客户都在的话，对我们的打击很大。”
“这正说明我们的技术侵害了他们的核心利益。”李一凡沉声说，“但也提醒我们，不能依赖任何外国企业。真正的出路掌握核心技术，建立自主可控的产业链。”
他转向专家组：“这次评审非常关键。我们需要考察评估28nm光刻机的技术水平，找出所有可能的风险点。只有让技术过硬，才能在未来的竞争中站稳脚跟。”
专家评审持续了整整一个上午。除了已经取得的肯定成果外，专家们还指出了几个需要重点攻关的方向：光刻胶与光学系统的匹配优化、机械系统的精度控制、以及EUV光源的稳定性等。
“这些问题都记录下来了吗？”李一凡问尹志绕。
“都记录下来了。”尹志绕认真地点头，“我们会根据专家的意见制定详细的改进计划。”
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